美政府或全面限制ASML对华出口DUV光刻机

摘要:

据外媒NU.nl报道,美国政府正考虑进一步向荷兰政府施压,试图迫使半导体设备制造巨头阿斯麦(ASML)停止向中国出口几乎所有的芯片制造设备。报道指出,美国目前正积极展开游说工作,旨在全面切断这些关键机器对中国大陆客户的供应。

回顾过往,在美方的持续施压下,最先进的极紫外(EUV)光刻机早已被列入对华禁售名单。事实上,自2019年荷兰政府阻断此类出口以来,ASML从未向中国交付过任何一台EUV设备。此后,出口管制的焦点逐渐蔓延至较旧的深紫外(DUV)光刻机,要求此类设备在向中国发货前必须取得国家出口许可证。然而,当前美国国会正在审议一项名为《硬件技术控制多边协调法案》(MATCH)的两党新法案。该法案试图进一步收紧出口管制,考虑迫使盟国实施更为严格的技术禁令,甚至连老旧的DUV设备也涵盖在内。这意味着,随着旧款DUV工具成为美国出口限制的新目标,ASML可能会被迫几乎完全终止其在华业务。

不过,面对潜在的全面断供风险,中国并未陷入彻底被动的局面。据报道,上海禹量生科技(Shanghai Yuliangsheng Technology)已于今年7月开始少量生产浸没式DUV光刻机。该公司计划在今年年内生产并交付5套系统,并预计到2027年将浸没式DUV机器的产量提升至约20台。目前,包括中芯国际(SMIC)、长鑫存储(CXMT)和华虹半导体在内的多家本土半导体企业均已排队订购这些国产设备。

分析认为,如果美国的全面禁令没有立即落地,其对未来中国DUV设备部署的影响将十分有限。只要有足够的发展窗口期,中国完全有可能在DUV设备方面实现自给自足。但不可否认的是,若该禁令在短期内被强制执行,仍会给目前高度依赖ASML设备的中国大陆企业带来明显的挑战与阻碍。

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