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精分神裂 发表于 2022-04-02 18:37:10
LIGA工艺是一种基于X射线光刻技术的MEMS加工技术，主要包括X光深度同步辐射光刻，电铸制模和注模复制三个工艺步骤。LIGA技术从首次报导(1982)至今，已经经过了三十年的发展，引起人们极大的关注，发达国家纷纷投入人力、物力、财力开展研究，己研制成功或正在研制的LIGA产品有微传感器、微电机、微执行器、微机械零件和微光学元件、微型医疗器械和装置、微流体元件、纳米尺度元件及系统等。但是,由于LIGA技术需要极其昂贵的X射线光源和制作复杂的掩模板，使其工艺成本非常高，限制该技术在工业上推广应用。
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前台匿名 发表于 2022-04-02 12:06:37
南阳的狗在北京上网?怎么还没被社区防疫员扑杀啊
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IXZ4j2WNzHlz 发表于 2022-04-02 11:24:09
天呐，我们南阳的狗都会上网啦
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前台匿名 发表于 2022-04-02 09:58:32
这个没前途，还是继续发挥特长搞你们的Windows和iOS破解吧，让美国佬没钱赚
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jimmyfluore 发表于 2022-04-02 09:54:29
X射线直接照射的话热效应应该不高吧
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前台匿名 发表于 2022-04-02 09:54:15
后面加三个0的话有可能成功
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诶啊 发表于 2022-04-02 09:16:17
去多看看新闻，上海微电子的90nm光刻机卖好几年了，28纳米也要交付了，没多少年就能赶上来，有啥好阴阳怪气的
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前台匿名 发表于 2022-04-02 08:51:49
起码行动了，不像瓷器国，估计21世纪末也研发不出光刻机
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前台匿名 发表于 2022-04-02 07:51:41
不要掩膜了是不是雕刻机?几天能刻出来一片出来?
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ChriXGoh 发表于 2022-04-02 07:24:43
和某大国好像[s:笑]
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7LAim4DtNxE7 发表于 2022-04-02 01:03:15
精神可嘉
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南望续1s 发表于 2022-04-02 00:51:33
这东西离商业应用还有很长的距离吧，跟euv完全是俩东西了
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