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台积电称其40nm制程良率已达65nm制程水准
发布日期:2010-01-20 13:32:38  稿源：
据台积电公司高级副总裁刘德音最近在一次公司会议上表示，台积电40nm制程工艺的良率已经提升至与现有65nm制程相同的水平，他并表示公司已经完美解决了先前造成40nm制程良率不佳的工艺腔匹配（Chamber matching）问题.

 
台积电19日举办了一场庆祝Phase5新厂房完工的庆典仪式，这间厂房隶属于新竹科技园区的台积电Fab12工厂.据悉新完工的Phase5厂房将于今年第三季度起开始批量投产28nm制程产品。

另据刘德音表示，台积电正在计划兴建Fab12 Phase6厂房，这座Phase6厂房将用于生产22nm制程产品。

CNBeta编译
原文：digitimes
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