要进入这座位在荷兰南部，如同停机棚般壮观的巨大无尘室之前，世界最大半导体设备厂ASML的公关，不忘提醒《天下》记者，即便已穿上全套深蓝色连身无缝隙无尘衣、帽、鞋，只露出两颗眼睛，还得先卸妆、卸睫毛膏，避免细微的化妆品粉尘飘出，污染无尘室。
这只是《天下》采访团队飞到欧洲，成为台湾第一个独家参观“全世界最复杂机台”——高数值孔径极紫外光微影机台（High-NA EUV﹚的庐山真面目，所付出的小小代价。
巴士大的EUV，帮台积开新路
据台湾半导体供应链透露，台积电刚进货一台High-NA EUV，在新竹有“台版贝尔实验室”之称的台积研发中心装机，展开测试。规划在2030年量产的A10（10埃米，相当于1纳米）制程开始大量采用该机台，届时将助攻台积进入“埃米”时代。
巨无霸般的High-NA EUV出现在无尘室自动门后，体积有一台双层巴士大，重达150公吨，是两架空中巴士A320的重量。
周边还有组装到一半的机台，内部管线之精密、零件之复杂，令人眼花撩乱，光运送到客户端就需要分装在250个货箱，超过200名工人花大半年才能组装完成，难怪号称全球最复杂的机台。
其实，不用等到埃米，2025年台积2纳米制程进入量产，背后靠山就是由荷兰ASML领军，与德国光学大厂蔡司半导体（Zeiss SMT）、二氧化碳（CO2）激光器厂通快（Trumpf），共组一个无可取代的欧洲军团。
这个铁三角，是由欧洲拥有“深科技”（Deep Tech）的隐形冠军发展而来，代表欧洲极致工艺的典范。
许多人担心，台湾经济过度仰赖台积，罹患“荷兰病”，变成一个人的武林。但台积正在力推供应链在地化，提供台湾各行各业高值化的时代机运。藏身在荷德小镇的深科技军团，正是台湾隐形冠军们技术升级，最佳的效法对象。
从2020年量产5纳米制程，台积就开始大量使用波长只有13.5纳米的EUV机台，解析度较传统深紫外光（DUV）机台的193纳米大幅提升，成为它甩开英特尔、三星的关键之一。
台积曾在2024年技术论坛揭露，已拥有全球EUV装置容量的56%，若以ASML累计出货量换算，约120台，主要集中在南科厂区。
以往，EUV每台高达30亿台币的身价已令人瞠目结舌，没想到记者眼前体积较前一代庞大、解析度更加提升的“进化版”EUV，竟是3倍多的价格，一台超过百亿元心态被，几乎与美国最先进战机F-22的售价相当。
有趣的是，负责产出这款人类史上最昂贵、最复杂机械的ASML，其实源自曾以灯泡、家电风靡世界的荷兰飞利浦集团一个部门。
昔日飞利浦辽阔的工业园区，现已转型为新创聚落。20分钟车程外的维荷芬（Veldhoven），便是白墙挂着深蓝字体“ASML”的ASML总部所在。
“（这里）每天都在建设，”ASML执行长福凯（Christophe Fouquet）指着办公室窗外不断扩充的园区比划。原先的停车场，不是改建为办公楼，就是员工餐厅。
福凯之前在美国半导体设备大厂科磊任职，2008年被挖角来时，ASML年营收规模不到50亿欧元，第一台EUV刚准备交货；2024年他接任执行长时，已长成一间超过280亿欧元的欧洲第四大集团、全球半导体设备龙头。
由这里出厂的EUV，撑起全球半导体业7纳米以下先进制程，让摩尔定律得以续命。
缺了这个神兵利器，台积便做不出辉达最先进的GPU，近年轰轰烈烈的生成式AI革命，也不会发生。以ASML为首的深科技军团，到底有什么秘诀？
创新秘诀：坦承不足，外包关键零件
这个新一代荷兰巨人，得以一路赶超美国、日本对手，垄断最先进半导体生产技术的秘诀，在于“开放式创新”。ASML本身只生产10%到15%的零件，其余向外采购，关键零件也不例外。
“如果要做最好的产品，必须谦虚了解，自己不可能什么都会，我们擅长正确掌握客户需求，”福凯告诉《天下》。
EUV是半导体积体电路制造中最精密复杂的设备，由ASML在荷兰设计组装，外包关键零件给德国蔡司、通快等。
EUV的运作，由通快的CO2激光器开始，高能量激光以每秒5万次的速度击中锡滴，超高热让锡滴变为电浆态的瞬间，会发出EUV光源，接着透过蔡司的6座反射镜将光导到矽晶圆。所用技术精确度可做到射到美国领土大小土地上一根人类头发，整个过程宛如科幻电影。
《隐形冠军》作者、德国管理学家西蒙（Hermann Simon）解析，ASML坐稳领导地位的秘诀，奠基在它与蔡司、通快，三家隐形冠军所形成的商业生态系。当中这两家都是独家供应商，ASML更持有蔡司半导体逾24%股份。
这个生态系打开了各自无法做到的巨大潜能，甚至，通快副董事长莱宾格（Peter Leibinger）曾对西蒙表达，这样的合作“感觉就像一间公司。”
三家公司像一家公司，背后有一个不得不的因素。解析ASML成功之道的新书《Focus: The ASML Way》作者海英克（Marc Hijink﹚指出，该公司1984年成立时，什么都没有，就必须与市占如日中天的日本大厂尼康（Nikon） 、佳能（Canon）等有完整自家供应链的公司竞争。
逆转秘诀：结盟隐形冠军，当整合者
“微影技术就像做一台更复杂的相机、打印机，ASML从第一天就被迫与外包公司合作关键零件，尤其是光学系统，”海英克说。
ASML设计出一张供应链商业网络，就像“设计一台EUV设备”一样，管理这些供应商达到要求，最终确保ASML能对客户端出全球最精密、最不可替代的机器。
最具代表性的，是EUV的心脏——反射镜，这堪称“世界上最平滑的镜子”，镜面平整度、角度，只要有一点瑕疵就会影响光束行经的路线。ASML高度仰赖蔡司半导体制造反射镜，并要求只能独家供货。
“ASML是建造极致复杂机电整合系统的全球领导者，蔡司半导体是创造高精度光学元件的全球领导者，我们培养了一种合作文化，团结起来后，不仅是各部份的总和，”蔡司半导体执行长罗蒙（Frank Rohmund）强调，“我会说是一加一大于二。”
这组超级伙伴的成效，体现于新一代EUV最重大的新设计——“变形光学元件”。ASML就是和蔡司半导体一起研发出来。
新一代EUV的数值孔径从0.33提升到0.55，大幅提高解析度。但因为孔径变大，需要更大的镜子，而更大的镜子会影响成像，就必须改变光罩尺寸。如果用变形光学，就不用动光罩尺寸，能在不影响生产力的情况下，提供高解析度的成像。
这符合ASML擅长迎合市场需求、整合技术的定位，不用改光罩，可以让客户省钱。
其实ASML是从电影业得到启发。拍电影所用35厘米底片与放映银幕的比例并不一致，解决方法是用一个“变形镜头”，将录制时的影像沿一个方向挤压，以便它们可以在标准尺寸的胶片上，以全解析度捕获宽银幕图像。然后，放映时再用变形投影器拉回正确比例，便能在银幕上还原。
打造新一代EUV关键光学元件重任，落在蔡司半导体的头上，罗蒙透露，“制造方式须进行根本性的创新。”
蔡司还为此打造更复杂的设备，ASML在2016年注资10亿欧元持股蔡司半导体，就是为了确保发展新一代EUV的途中，双方能长久走下去。
三角生态系步调能走得一致，推动摩尔定律前进，ASML扮演火车头，其沟通模式十分关键。
管理秘诀：荷兰式沟通，有话直说
《天下》记者在中午12点走进ASML总部的员工餐厅，印度、日本、意大利、地中海式餐点摊位林立，不同国籍员工、来访外宾，全都混坐一起用餐，非常开放多元。
福凯表示，ASML是一间“非常不政治”的企业，沟通问题十分直接。他说的“直接”，包括对内和对外部供应链伙伴的沟通。
例如面对蔡司，以荷兰企业的速度、勇于冒险，对上德国企业的严谨、保守，文化差异颇大，但伙伴关系依旧持续。罗蒙表示，双方激烈沟通完，走出办公室，总可以恢复关系。
本身是荷兰人的海英克认为，与其说ASML是一间荷兰公司，不如说它是总部在荷兰的国际公司。“他们的思维方式完全国际化，有140多个国家的人在ASML工作，”海英克说。
福凯是法国人，ASML人资长是意大利人，公司对异文化沟通及管理并不陌生。这不仅是对员工，还有对外国众多供应商。
“这里塑造一个能直接沟通的安全环境，鼓励大声说出来，”人资长梦缇若（Cristina Monteiro）表示。
一年多前来到ASML的梦缇若认为，ASML传承了荷兰传统，非常重视透明度和诚实，并把争议拿到桌上公开讨论。
譬如福凯办公室中心，就是一张大会议桌，他办公的位置直接在会议桌一角。
“我们擅长将不同人带到谈判桌上，中间放置一个复杂的挑战，大家从不同观点讨论，直到找到正确的解决方案，和你在组织中的职等、级别无关，”梦缇若说。这让ASML解决问题时，沟通上的科层少，快速直接。
致胜秘诀：新技术陪客户跨入新制程
快速、直接沟通，背后最大原因是ASML必须即时掌握并回应客户需求，这更是登上微影技术王者的关键。
当年，半导体厂苦思突破制程，要做出更精密微小的芯片，必须将光源从193纳米再大幅缩短，产业使用的“干式微影技术”一直无法有效突破。
当时台积前研发副总经理林本坚，提出将水导入微影制程的颠覆技术——浸润式微影，但日本两大厂尼康、佳能固守研发进度一再延滞的157纳米，反应迟缓。
规模较小的ASML却愿意与台积合作投入，在2004年顺利推出机台，拿下IBM、台积订单，在微影领域逐步超前日本。
2006年，EUV成为半导体厂之间的竞赛筹码，ASML一度发生EUV光源输出功率迟迟无法达到客户要求的状况，当时光源技术的合作厂是远在美国的西盟（Cymer）。
现任清大半导体学院院长的林本坚记得，当时ASML技术长布令克（Martin van den Brink）知道这是关键，当机立断把西盟买下，“他敢砸钱进去，买下西盟，派了几百个工程师过去，硬是把它（光源）做出来，”林本坚观察。
如今，ASML在先进制程的EUV设备龙头地位，不容撼动。台湾半导体设备厂天虹科技执行长易锦良观察，ASML专注单一微影业务，是同业中的特例，“前五大厂中其他四大，是走多元产品线。”
未来挑战：真正劲敌是“总体经济”
这也带给ASML风险。譬如身价百亿的High-NA EUV，便遇上英特尔与三星业绩不佳、递延先进制程建厂，连带影响机台采购计划。但EUV销售占ASML营收比重大于50%，不无压力。
另一方面，地缘政治紧张，美国禁止ASML出货给中国，让向来服务客户优先、政治立场中立的ASML头疼无比。一来中国业务占营收超过四成，二来还得担忧中国培养出“自己的ASML”。
关注国际情势的海英克表示，ASML真正的劲敌，是“总体经济”。一旦经济活动减少，对芯片需求降低，客户对设备投资自然减少。
“这才是ASML最大的恐惧，它无法控制景气，”海英克观察，ASML历年来最大衰退，是2000年网络泡沫，以及2008年的金融海啸时。
面对挑战，“我们都看长期，对未来很乐观，”福凯说。毕竟科技发展、AI演进，在他眼中都需要半导体。
路上的颠簸，不影响ASML做好整合者角色，端出无可替代的机器，推动人类科技文明前进。