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英特尔14A工艺良率在试生产前取得关键进展
发布日期:2026-06-17 03:10:00  稿源:cnBeta.COM

摩根士丹利最新研究显示,英特尔下一代 14A 制程节点目前的缺陷密度(D0)约为 0.5,这意味着在长而复杂的半导体制造流程中,每单位面积晶圆上产生的纯功能性报废芯片比例较低,整体良率水平相较于同阶段的新工艺已相当可观。 

对英特尔而言,这一数据表明 14A 仍处于爬坡初期,但先前关于 14A 在相同开发进度上已经超越 18A 的说法得到了印证。 英特尔规划在 2027 年第一季度将该节点的缺陷密度进一步压低至 0.1–0.2 左右,并以此为节点,开始内部测试芯片流片和面向自家产品的小规模量产爬坡,随后在 2028 年进入风险试产阶段,并在 2029 年切入大规模量产。

在当前量产产品方面,英特尔最新的 “Panther Lake” SoC 采用多小芯片封装方案,其中用于运算核心的计算芯片(compute tile)基于 18A 工艺制造,其裸片尺寸约为 8.004 × 14.288 毫米,面积约 114.304 平方毫米。 文章以此为参考,假设在保持裸片面积不变、但晶体管密度提升并迁移至 14A 工艺的前提下,在当前 D0=0.5 的条件下,这一尺寸的设计在 14A 工艺上的理论良率可达到约 56.45%。 需要强调的是,18A 目前已经处于高产能量产阶段,因此在实际良率上仍优于尚在爬坡期的 14A,但从统计估算来看,14A 以现阶段工艺成熟度就能达到这一水平,被认为是一个颇为积极的信号。 这一估算基于高数值孔径(High-NA)EUV 设备半场曝光模式下的生产条件,反映出英特尔 14A 正处在可持续优化的早期阶段。 摩根士丹利在报告中也提到,目前用于验证的测试芯片良率约在 40% 左右,考虑到测试芯片的裸片尺寸很可能显著大于“Panther Lake” 计算芯片,这一数据与上述模型预估并不矛盾。

从中长期目标来看,如果英特尔能将 14A 的 D0 缺陷密度成功压缩至 0.1–0.2,那么对于面积在 100 平方毫米左右的芯片设计,其理论良率有望提升至 80%–90%,具体水平则取决于实际电路结构和版图实现方式。 报道指出,这一预测主要基于经典的 Poisson 良率模型,业界还存在多种不同的推算方法;此外,还必须区分“缺陷良率”和“参数良率”——前者关注芯片是否能够点亮并工作,后者则考量芯片能否在功耗、频率等各项指标上完全满足产品规格。 参数良率通常属于高度敏感的内部数据,外界很难获得关于 14A 在这方面的详细信息。

在设计支持和客户生态方面,英特尔 14A 目前对应的是 0.5 版本的工艺设计套件(PDK)。 按照计划,等到 0.9 版本 PDK 释出时,晶圆代工客户才会在该平台上最终敲定量产规模、具体产品设计以及其他关键参数。 英特尔董事会成员、业界资深投资人谭仲良(Lip-Bu Tan)此前将 0.9 版 PDK 称为该节点的“圣杯”,并预计该版本将于今年 10 月对外开放。

在产线装备和工艺能力上,英特尔与 ASML 的合作已完成 14A 节点对应的 High-NA EUV 光刻机在英特尔代工业务产线的验收测试,以提升整体晶圆出片能力。 当前部署的 TWINSCAN EXE:5200B 是 ASML 第二代 High-NA EUV 扫描设备,继承并升级自此前用于 14A 试跑的 TWINSCAN EXE:5000 平台。 借助这些新一代设备,英特尔曾在单季内完成超过 3 万片晶圆的加工实验,并通过减少特定工艺层所需的光刻步骤,将部分层的制程由原先的约 40 步缩减到不足 10 步,从而显著缩短了工艺循环时间,简化了整体制造流程。

在全球晶圆制造竞争格局趋于白热化的背景下,英特尔 14A 工艺良率的阶段性突破,不仅为公司自身未来产品路线打下基础,也为其代工业务在 High-NA EUV 时代争取潜在大客户订单提供了重要筹码。 报道引用的良率估算模型来自 SemiAnalysis 提供的晶圆与裸片良率计算工具,进一步佐证了目前对于 14A 产能和良率前景的分析判断。

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