超级EUV光刻机成Intel杀手锏:每台售价超28亿元 用法极其奢侈
下周的CES展会上Intel预计会正式推出Panther Lake处理器,这是18A工艺量产的首款消费级处理器。18A工艺是近年来Intel最关键的一次升级,没有之一,用上RibbonFET晶体管及PowerVia背部供电技术,可以进一步降低芯片功耗,提高频率。
18A工艺已经在Intel位于亚利桑那州的Fab 52工厂量产,达产时月产能将达到4万片晶圆,良率表现据说也达到了预期。

Intel 10月份组织了一次工厂行,开放了Fab 52工厂参观,还展示了先进的EUV光刻机,但是18A工艺还有很多秘密没有公布,很可能用上了下一代的High NA EUV光刻机作为杀手锏。
High NA型是当前EUV光刻机的下一代产品,主要是NA指标从0.33提升到了0.55,可以进一步提升光刻分辨率,但是成本提升也是巨大的,一台售价要4亿美元,约合28亿元,比当前EUV光刻机1.5-2亿美元的价格翻倍还多。
Intel在EUV光刻机商落后了,因此把High NA EUV视为工艺翻身的机会,前几年就官宣成为High NA EUV的首家客户,从Intel这两年公布的信息来判断,他们至少买了3台High NA EUV光刻机了。
不过也有说法是Intel包圆了ASML这几年来的High NA EUV产能,大约有6-7台,可以说非常壕了,毕竟台积电、三星并不打算第一时间就抢购High NA EUV光刻机。
Intel如此大手笔购买High NA EUV是做什么用的?此前他们提到会在下一代的14A工艺上应用这种光刻技术,但是14A还没建厂呢,目前最多是在试验开发中。
Intel自己披露的消息称,他们每个季度使用High NA EUV生产超过3万片晶圆,也就是每个月1万片晶圆,要知道1万的产能对实际量产的工厂来说都不小了,现在Intel在技术研发上就如此大量生产,实在是太烧钱太奢侈了。
这不太合理,那High NA EUV光刻机可能还有一种用途,就是现在的18A工艺上已经秘密使用了这种光刻机,但Intel不打算宣传也不打算公布。
猜测Intel的想法是把High NA EUV作为18A工艺秘而不宣的优势,打竞争对手一个措手不及,延长Intel在High NA EUV技术上的优势。




